·量程:50mm-6000mm
·輸出:TTL,HTL,RS422
·最大速度:500mm/s
·分辨率:0.5-10μm
·柵距:20μm
輸出信號(hào)(TTL?輸出):L=max. 0.5V at< 10mA H=min. 3.5V at> 2.5mA
?
??微型光柵尺
?·量程:10mm-15mm
???·輸出:TTL
???·最大速度:500mm/s
???·分辨率:5μm?